层流也可以称为单向流，可以分为水平单向流和垂直单向流，是一种应用于洁净等级较高组装式洁净室的气流流型。与之相对应的是乱流，也可以称之为非单向流，一般应用洁净等级相对低一点的洁净室。单向流，也就是层流指的是送入组装式洁净室（无尘车间）的洁净空气沿着水平方向均匀的流向回风口，这样可以将室内的污染源散发的尘粒等污染物在未向室内扩散之前挤压出室外。一般ISO 1-5级（百级以上）采用单向流的送风模式。垂直单向流是在模块化洁净室的顶部满布高 效过滤器，一般至少要达到80%，然后使用格栅地板（高架地板）或者侧墙下部回风。洁净空气自上而下垂直平行流经工作活动区，将携带室内污染源散发的尘粒等污染物的脏空气排出或送至回风通道。垂直单向流可以达到很高的洁净度，室内气流不相互干扰，污染小；工作区内污染的空气可以迅速排出而不扩散，地面也不会积尘；几乎不产生微粒的二次飞扬；洁净室内的任何地方也都能达到洁净度等级，有利于工艺设备的方便布置；自净能力强，可以简化人员的净化设施。但是缺点是顶棚、地面结构相对复杂，高 效过滤器数量过多，整体造价高，运行费用高。而水平单向流是在墙的一侧满布高 效过滤器，另一侧设置回风。这种气流流型适合层高较小的时候，便于灯具布置，以及高 效过滤器的安装、维修。这种方式应用较少。
