高纯气体管路设计的“七要点”及盖斯帕克管路设计实施方法如下：
整体布局：确定气体房和用气点后，主管路系统遵循管道线路最短、拐弯最少、布置紧凑合理原则。输送系统数量和管径大小根据机台用气点多少和流量大小确定，基本采用小管径输送（1/4 - 3/4），且多设计备用系统。
特殊处理：由于气体危险性，许多地方把管道铺设在电缆桥架里，穿墙、穿过夹道、周围有危险源和经常有危险作业、露天的地方，管道一般布置在全封闭桥架里。
低蒸汽压气体处理：对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需考虑钢瓶加热、气体面板加热、管道伴热等。为精确控制流量，气源端配置高精度压力变送器、电子秤、温控器等，机台用气点配置质量流量计、压力调节阀。剧毒、高反应性和自燃气体使用双套管输送，管道采用零死区设计，整个管路系统由VMB完成气体分配，中间无三通，且管道要有良好接地。
